光刻机

光刻机国产化再落关键一子，ABM全自研光刻机量产项目落户佛山。佛山将积极招引高端半导体装备产业链上下游企业集聚发展，力争实现半导体光刻装备产业五年内规模达40亿元、十年突破100亿元的目标，加快建设为粤港澳大湾区半导体及集成电路研制重要基地。